Profilm 3D是一款兼(jian)具垂直掃(sao)描干(gan)涉 (VSI)和高精確(que)度相(xiang)移干涉 (PSI) 技術(shu)的經濟型光(guang)學輪廓(kuo)儀，其(qi)可以(yi)用(yong)于多種用(yong)途的高精度表面(mian)測量。

Profilm 3D光學(xue)輪(lun)廓儀具有以下優點：

?   價格優勢：市場上具性(xing)價比的白光(guang)干涉輪廓(kuo)儀(yi)，具有價格優勢的高精(jing)度輪廓(kuo)儀(yi)。

?   快速測(ce)量大面積區(qu)域：測(ce)量范圍為毫米級(ji)別，配置XY樣品(pin)臺達100mm*100mm，可實(shi)現大面積樣品(pin)的輕松測(ce)量；

?   簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上(shang)，即可直接進行(xing)測(ce)量；

?   可以測量非接(jie)(jie)觸式非平坦樣(yang)品：由于光學(xue)輪(lun)(lun)廓測量法(fa)是一(yi)種非接(jie)(jie)觸式技術(shu)，可以輕(qing)松測量彎(wan)曲和(he)(he)其他非平面(mian)表(biao)面(mian)。還輕(qing)松地測量曲面(mian)的表(biao)面(mian)光潔度，紋理和(he)(he)粗糙(cao)度。除此之(zhi)外，作為一(yi)種非接(jie)(jie)觸式方(fang)法(fa)光學(xue)輪(lun)(lun)廓儀不會像探針式輪(lun)(lun)廓儀那樣(yang)損壞柔軟(ruan)的薄膜。

?   無(wu)需更(geng)換(huan)耗材：只需要一個LED光源，無(wu)需其他配件更(geng)換(huan)；

?   可視化3D功能(neng)：Profilm 3D輪廓儀具有強大的處理軟(ruan)件(jian)，軟(ruan)件(jian)除包括表面粗(cu)糙(cao)度，形狀和臺(tai)階高度的測量外，還可以任意角度移動樣品量測三維圖(tu)形，多角度分析樣品圖(tu)像。

適用于(yu)各類(lei)樣品：Profilm 3D輪廓儀(yi)適用于(yu)各類(lei)金(jin)屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷(ci)材(cai)料、電介質、硬質涂層、高分子聚(ju)合(he)物(wu)、光刻膠等(deng)的表面輪廓及(ji)粗糙(cao)度等(deng)測量。

    ? ProfilmOnline 在線免費網絡分析(xi)

 在線分析鏈接：

 ProfilmOnline 可(ke)存儲、共(gong)享(xiang)、查看(kan)與分(fen)析來自您的(de)光學輪(lun)廓儀或3D顯微鏡之3D影像(xiang)。任何臺式電腦，平板電腦或智能(neng)手機上(shang)都能(neng)查看(kan)和操作(zuo)。享(xiang)受全(quan)面(mian)的(de)圖像(xiang)分(fen)析功能(neng)，包括表(biao)面(mian)輪(lun)廓（粗糙(cao)度）和階高分(fen)析。

Profilm 3D光學輪(lun)廓儀(yi)功能：

?   用于測量粗糙度

使用(yong)Profilm 3D輪廓(kuo)儀可以以秒為單位測量表面紋(wen)理，光(guang)潔度和(he)粗糙(cao)度，只(zhi)需單擊鼠標即可完成。Profilm3D采用(yong)白光(guang)干涉(she)測量（WLI）和(he)相移干涉(she)測量（PSI）等(deng)行業標準技術(shu)，可快速(su)測量大面積2D區(qu)域(yu)的(de)粗糙(cao)度和(he)紋(wen)理，無(wu)需接觸樣(yang)品。

?   測量曲面樣品

由于(yu)Profilm 3D是一種非接觸式技(ji)術，因此可(ke)以輕松(song)測(ce)(ce)量(liang)彎曲和其他(ta)非平面(mian)(mian)表(biao)面(mian)(mian)。另外在測(ce)(ce)量(liang)方法中添加形狀去除(chu)（也稱(cheng)為形狀去除(chu)）和過濾，即可(ke)輕松(song)實(shi)現表(biao)面(mian)(mian)光潔度(du)，紋理和粗糙(cao)度(du)的測(ce)(ce)量(liang)！

?   任何粗糙(cao)度參(can)數(shu)標準

Profilm 3D擁有47個ASME / EUR / ISO粗糙度參數標準。可以(yi)在結果中顯示(shi)其中的(de)(de)(de)任何一個或全部，從而使自定義報(bao)告變得輕而易舉(ju)。符(fu)合ISO 9000和(he)ASME B46.1標準，ISO現在*支持測量表面粗糙度的(de)(de)(de)光學(xue)方(fang)法(fa)。特別是(shi)，ISO 25178第604部分描述了(le)Profilm3D的(de)(de)(de)WLI方(fang)法(fa)（其中也稱為相干掃描干涉測量法(fa)）。

二(er)、主要功能

  主要應用(yong)

臺(tai)階(jie)高度

表面粗糙度(du)

線(xian)寬及輪廓(kuo)

  技術能(neng)力

厚度范圍(wei)，VSI  50nm-100mm

厚度范(fan)圍，PSI  0-3 µm

樣品(pin)反射率范圍 0.05%-100%

Piezo范(fan)圍 500 µm

XY平臺范圍100mm x 100mm

三、應用

臺階高度(du)、表面(mian)形貌、表面(mian)粗糙(cao)度(du)、大面(mian)積拼(pin)接等