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國產PLD脈(mo)沖激(ji)光分(fen)子束外(wai)延裝置。 脈(mo)沖激(ji)光分(fen)子束外(wai)延成(cheng)膜法PLD/Laser MBE是將脈(mo)沖激(ji)光通過(guo)合成(cheng)石(shi)英窗導入(ru)真空腔內(nei)照(zhao)射到成(cheng)膜靶(ba)(ba)上，靶(ba)(ba)被(bei)照(zhao)射后吸收(shou)高密度能量而(er)形成(cheng)羽輝，升華出來的靶(ba)(ba)材堆(dui)積到設在對面的基板上而(er)形成(cheng)膜