Product category
Related articles
離(li)子束沉積(ji)作為(wei)納(na)米(mi)(mi)結構的(de)(de)基本(ben)組成單元,團(tuan)(tuan)簇(cu)或納(na)米(mi)(mi)顆(ke)粒在納(na)米(mi)(mi)科學(xue)中具有(you)關鍵的(de)(de)地位(wei)。我們設計研制了(le)兩套(tao)氣體聚集(ji)型團(tuan)(tuan)簇(cu)源(yuan)(yuan):基于熱蒸發的(de)(de)氣體聚集(ji)團(tuan)(tuan)簇(cu)束流(liu)(liu)源(yuan)(yuan)和(he)磁控(kong)等離(li)子體聚集(ji)型團(tuan)(tuan)簇(cu)源(yuan)(yuan)。以團(tuan)(tuan)簇(cu)源(yuan)(yuan)為(wei)中心構成了(le)團(tuan)(tuan)簇(cu)束流(liu)(liu)實驗和(he)沉積(ji)系統。
作為納米結構的基(ji)(ji)本(ben)組成(cheng)單元(yuan),團(tuan)(tuan)簇(cu)(cu)或(huo)納米顆粒在納米科學中(zhong)具(ju)有關鍵的地(di)位。我們設計(ji)研制了兩(liang)套氣體(ti)聚(ju)集(ji)型團(tuan)(tuan)簇(cu)(cu)源:基(ji)(ji)于熱蒸發(fa)的氣體(ti)聚(ju)集(ji)團(tuan)(tuan)簇(cu)(cu)束(shu)(shu)流源和(he)磁(ci)控等離子體(ti)聚(ju)集(ji)型團(tuan)(tuan)簇(cu)(cu)源。以團(tuan)(tuan)簇(cu)(cu)源為中(zhong)心構成(cheng)了團(tuan)(tuan)簇(cu)(cu)束(shu)(shu)流實驗和(he)沉(chen)積系統。