Lumina AT1光學表面(mian)缺(que)陷分析儀可(ke)對(dui)玻(bo)璃、半導體(ti)及(ji)光電(dian)子材(cai)料(liao)進(jin)行(xing)表面(mian)檢(jian)測(ce)(ce)。Lumina AT1既能(neng)夠檢(jian)測(ce)(ce)SiC、GaN、藍寶石和玻(bo)璃等透明(ming)材(cai)料(liao),又能(neng)對(dui)Si、砷化(hua)鎵(jia)、磷化(hua)銦等不透明(ming)基板進(jin)行(xing)檢(jian)測(ce)(ce),其價格優(you)勢使其成為適合于研發/小批(pi)量生產(chan)過程中品質管理及(ji)良率改善(shan)的有力工(gong)具。