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非(fei)接(jie)觸式優點就是(shi)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)裝(zhuang)置探測(ce)(ce)(ce)(ce)部分不與被測(ce)(ce)(ce)(ce)表面的直接(jie)接(jie)觸，保護了測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)裝(zhuang)置，同時避(bi)免(mian)了與測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)裝(zhuang)置直接(jie)接(jie)觸引入的測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)誤差。 Zeta-20三維(wei)光學(xue)輪廓(kuo)儀(yi)集成了六種光學(xue)計量(liang)(liang)技(ji)(ji)術(shu)。 ZDot 測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)模(mo)式同時采集高分辨率(lv) 3D 掃(sao)描和(he)真彩色無(wu)限對焦圖(tu)像。其他測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)(ji)術(shu)包括白(bai)光干涉(she)法、Nomarski 干涉(she)對比顯微鏡(jing)和(he)剪(jian)切干涉(she)法。 Zeta-20 也可(ke)用于(yu)樣品審查(cha)或(huo)自動缺陷檢測(ce)(ce)(ce)(ce)。

Profilm 3D是一款(kuan)兼具(ju)垂直(zhi)掃描干(gan)涉(she) (VSI)和高(gao)精確(que)度(du)相移干(gan)涉(she) (PSI) 技術的(de)經濟(ji)三維光學輪(lun)廓儀，其(qi)可以(yi)用于多種用途的(de)高(gao)精度(du)表面測量。 我司(si)有此(ci)機器(qi)可測樣。

P-170是cassette-to-cassette探針式輪(lun)廓儀，將P-17臺(tai)式系(xi)統(tong)的(de)測量性能和經過(guo)生產驗(yan)證的(de)HRP®-260的(de)機械傳送(song)臂(bei)相(xiang)(xiang)結合。 這樣的(de)組合為(wei)機械傳送(song)臂(bei)系(xi)統(tong)提(ti)供了低成本，適用于半導(dao)體，化合物半導(dao)體和相(xiang)(xiang)關行業。 P-170全(quan)自動(dong)晶圓探針式輪(lun)廓儀/臺(tai)階(jie)儀可以對臺(tai)階(jie)高(gao)度(du)(du)、粗糙度(du)(du)、翹(qiao)曲度(du)(du)和應(ying)力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無(wu)需圖像拼接。

自動晶圓探針式輪廓儀/臺(tai)階儀P17。該系統支持(chi)對臺(tai)階高(gao)度、粗(cu)糙度、翹(qiao)曲(qu)度和(he)應力2D和(he)3D測量(liang)，掃描可達200mm無需圖像拼接。結(jie)合UltraLite®傳(chuan)感器、恒(heng)力控制和(he)超平掃描平臺(tai)，有出色測量(liang)穩定性。

P-7晶圓探針式輪(lun)廓(kuo)儀(yi)/臺階儀(yi)保持了P-17技術的測(ce)量性(xing)能，并作為臺式探針輪(lun)廓(kuo)儀(yi)平臺提供(gong)了好的性(xing)價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和(he)應力進行2D和(he)3D測(ce)量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接(jie)。從(cong)可靠性(xing)表現來(lai)看， P-7具(ju)有較好的測(ce)量重復性(xing)。