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脈沖激光(guang)沉積（PLD）是一(yi)種(zhong)用(yong)途(tu)非常廣泛的薄(bo)膜(mo)(mo)及(ji)納米結構的制(zhi)備(bei)方法。其已(yi)成功地應用(yong)于各種(zhong)復雜氧化物、氮化物和多元素材料等的薄(bo)膜(mo)(mo)制(zhi)備(bei)。近年來，激光(guang)薄(bo)膜(mo)(mo)制(zhi)備(bei)已(yi)發(fa)展(zhan)到(dao)了(le)分子(zi)束外延的水平(ping)，即(ji)激光(guang)分子(zi)束外延(Laser-MBE)。Laser-MBE使(shi)得(de)激光(guang)薄(bo)膜(mo)(mo)生長(chang)達(da)到(dao)了(le)*的水平(ping)，如重構、雜質晶相(xiang)及(ji)島狀生長(chang)等等。