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KLA先進的探針式臺(tai)階(jie)儀(yi)Alpha-Step D-600，帶有(you)電(dian)動載物臺(tai)。可測量納(na)米級至1200um臺(tai)階(jie)高(gao)度，并(bing)可分析薄膜表面粗糙度、波(bo)紋度、應力。且(qie)其具(ju)有(you)5.0A (1σ)或(huo)0.1%臺(tai)階(jie)高(gao)度重(zhong)復性以及亞埃級的分辨率。這種Alpha-Step高(gao)精(jing)度臺(tai)階(jie)儀(yi)/輪(lun)廓儀(yi)有(you)著可選的3D輪(lun)廓分析功能。

產(chan)品(pin)(pin)類型：白(bai)光、共(gong)軛焦、非接觸(chu) μSurf結合CCD的影(ying)像攝(she)取，以有許多(duo)孔洞(dong)的旋轉盤取代(dai)偵測器的孔洞(dong)，再將物(wu)鏡(jing)垂直移(yi)動，以類似斷(duan)層攝(she)影(ying)方式，精確量(liang)測物(wu)體高(gao)度(du)(如下圖(tu)所示)。 由于(yu)使用了共(gong)軛焦的方法，在測量(liang)漸變較大的高(gao)度(du)時(shi)，跟其他同類公司產(chan)品(pin)(pin)使用較多(duo)的干涉法相比，可以精確量(liang)測物(wu)體高(gao)度(du)，建立3D立體影(ying)像，優勢相當(dang)明顯。

μScan采(cai)用模塊(kuai)化(hua)設(she)計，特點是快(kuai)速測(ce)量(liang)、不(bu)接觸(chu)、不(bu)破(po)壞、自動化(hua)，μScan的中心(xin)部件掃(sao)描(miao)模塊(kuai)(x/y方向樣品掃(sao)描(miao))可以(yi)和(he)不(bu)同的傳(chuan)感器，(Z方向測(ce)量(liang))連用，如Confocal point sensor、Autofocus sensor、 Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。

AF2 自動對焦(jiao)(Autofocus) 借(jie)由(you)(you)探(tan)測(ce)器的回饋訊號調整物(wu)(wu)鏡位置，得到待測(ce)物(wu)(wu)焦(jiao)點，而(er)獲得待測(ce)物(wu)(wu)的確實高(gao)度(如(ru)(ru)下左圖)。 CF4 共(gong)軛(e)焦(jiao)(Confocal, Laser) 激光(guang)光(guang)束經由(you)(you)物(wu)(wu)鏡迅速上(shang)下移動聚焦(jiao)于待測(ce)物(wu)(wu)上(shang)，此(ci)時偵測(ce)器能經由(you)(you)孔洞得到Z大(da)光(guang)的強度，如(ru)(ru)此(ci)偵測(ce)器根據(ju)此(ci)訊號確定其位置