經濟三維光學輪廓儀Profilm 3D光學輪(lun)廓(kuo)儀具有以下優點：

   ?   價格優勢(shi)：市場上具性價比的白光干涉輪(lun)廓(kuo)儀(yi)，具有價格優勢(shi)的高精度輪(lun)廓(kuo)儀(yi)。

   ?   快速測(ce)量大面(mian)(mian)積區域：測(ce)量范圍(wei)為毫(hao)米級別，配置XY樣(yang)品臺達100mm*100mm，可實現大面(mian)(mian)積樣(yang)品的輕松(song)測(ce)量；

   ?   簡單易用：只需將樣品放置于(yu)樣品臺上，即可直接(jie)進行測量；

   ?   可(ke)以(yi)測(ce)(ce)(ce)量非接觸(chu)式(shi)非平(ping)坦樣(yang)品：由于光學輪(lun)廓(kuo)(kuo)測(ce)(ce)(ce)量法(fa)是一種(zhong)非接觸(chu)式(shi)技術，可(ke)以(yi)輕松(song)測(ce)(ce)(ce)量彎(wan)曲和其他非平(ping)面(mian)表面(mian)。還輕松(song)地(di)測(ce)(ce)(ce)量曲面(mian)的(de)表面(mian)光潔度(du)，紋理和粗糙(cao)度(du)。除(chu)此之外，作為一種(zhong)非接觸(chu)式(shi)方法(fa)光學輪(lun)廓(kuo)(kuo)儀(yi)不會(hui)像探(tan)針(zhen)式(shi)輪(lun)廓(kuo)(kuo)儀(yi)那樣(yang)損壞柔軟的(de)薄膜。

   ?   無需(xu)(xu)更(geng)換耗材：只(zhi)需(xu)(xu)要一個LED光源，無需(xu)(xu)其他配件更(geng)換；

   ?   可視化3D功能：Profilm 3D輪廓儀(yi)具有強(qiang)大的處理(li)軟(ruan)件，軟(ruan)件除(chu)包(bao)括(kuo)表面(mian)粗糙度(du)，形狀和臺(tai)階高度(du)的測量外，還可以任(ren)意(yi)角度(du)移動樣品量測三維圖(tu)形，多角度(du)分析樣品圖(tu)像(xiang)。

適用于各類樣品：Profilm 3D輪廓(kuo)儀適用于各類金(jin)屬、非晶(jing)硅和多晶(jing)硅、陶瓷材料、電介(jie)質(zhi)、硬質(zhi)涂層、高分子聚合物(wu)、光刻(ke)膠等(deng)的表面輪廓(kuo)及粗(cu)糙度等(deng)測量。

Profilm 3D光(guang)學輪廓儀功能：

?   用于測量粗(cu)糙度

使用Profilm 3D經濟三維光學輪廓儀可以以秒為單位測量表面紋理，光潔度和粗糙度，只需單擊鼠標即可完成。Profilm3D采用白光干涉測量（WLI）和相移干涉測量（PSI）等行業標準技術，可快速測量大面積2D區域的粗糙度和紋理，無需接觸樣品。

?   測量曲(qu)面樣(yang)品

由于Profilm 3D是一種非接觸式技術，因(yin)此可以(yi)輕松測(ce)量彎曲(qu)和其他非平面(mian)表面(mian)。另外(wai)在測(ce)量方法(fa)中(zhong)添加形(xing)狀(zhuang)去(qu)除（也稱(cheng)為(wei)形(xing)狀(zhuang)去(qu)除）和過濾(lv)，即(ji)可輕松實現(xian)表面(mian)光(guang)潔度，紋(wen)理(li)和粗糙度的測(ce)量！

?   任何粗(cu)糙(cao)度(du)參數標準

Profilm 3D擁有47個ASME / EUR / ISO粗(cu)糙度(du)(du)參(can)數標準。可以在結(jie)果(guo)中(zhong)顯(xian)示其(qi)中(zhong)的任何一(yi)個或全部，從而使(shi)自定義報告變(bian)得輕而易舉(ju)。符合ISO 9000和ASME B46.1標準，ISO現在*支持測量表面(mian)粗(cu)糙度(du)(du)的光(guang)學方(fang)法(fa)。特別(bie)是，ISO 25178第604部分(fen)描(miao)述了Profilm3D的WLI方(fang)法(fa)（其(qi)中(zhong)也稱為(wei)相干(gan)掃描(miao)干(gan)涉測量法(fa)）。

二、主(zhu)要功能

  主要應用(yong)

臺階高度

表面(mian)粗(cu)糙度

線寬及輪廓(kuo)

  技術(shu)能力

厚度范圍，VSI  50nm-100mm

厚(hou)度范(fan)圍(wei)，PSI  0-3 µm

樣(yang)品反射率范圍 0.05%-100%

Piezo范圍(wei) 500 µm

XY平臺(tai)范圍100mm x 100mm

三、應用

臺階高度(du)、表(biao)面(mian)形貌、表(biao)面(mian)粗糙(cao)度(du)、大面(mian)積(ji)拼接(jie)等