高精度臺式納米壓痕儀主要功能：

靜(jing)態/動態納米(mi)壓痕：楊氏模量/硬度(du)

連續剛度：高準度薄膜測試，楊氏模(mo)量/硬度，<100nm

DMA功能：橡膠等(deng)粘彈性材(cai)料存儲模量/損耗系數

劃痕測試

高(gao)溫納米壓痕300℃

斷裂韌性測試

橫向加載，泊松比測試

3D/4D 楊氏模(mo)量/硬度mapping

&bull;考慮(lv)到靈(ling)活性，iNano允(yun)許進行廣泛的測試，包括但(dan)不限于頻率特定實驗，存(cun)儲和(he)損耗模量，模量和(he)硬(ying)度(du)（Oliver和(he)Pharr）以(yi)及恒定應(ying)變率。

•電磁執(zhi)行器用(yong)于Nanomechanics生產的(de)所(suo)有系統，包(bao)括iNano。 這些執(zhi)行器是(shi)堅(jian)固的(de)線性裝置，固有地解耦力和位移。 它們的(de)大(da)力為50 mN，分(fen)辨(bian)率為3 nN，超(chao)低噪聲電流小于200 nN。

•iNano是時(shi)間(jian)常(chang)數為20微秒的(de)商用納米壓痕儀，可同時(shi)滿足大壓痕行程50μm，噪聲<0.1 nm，數字分辨率(lv)0.02 nm，漂(piao)移率(lv)<0.05nm / s的(de)規格(ge)要(yao)求。

•為確保業內廣泛，可(ke)靠的(de)(de)數據，iNano能夠實現0.1 Hz至1 kHz的(de)(de)動態(tai)激勵頻率。

•樣(yang)品(pin)臺移動Z軸為25 mm，X為100 mm，Y軸為150 mm，可測試各種樣(yang)品(pin)高度和(he)大樣(yang)品(pin)區。

•載荷框架(jia)剛(gang)度(du)> 1,000,000 N / m

•Jian端校準(zhun)系統集成到軟件中，可實現(xian)快(kuai)速，準(zhun)確和自動的Jian端校準(zhun)。

•可(ke)用的方法包含聚合物，薄(bo)膜和(he)生物材料的提(ti)示(shi)，方法和(he)標準(zhun)

&bull;可用劃(hua)痕(hen)選項，大正常載荷為(wei)50 mN，大劃(hua)痕(hen)距離為(wei)2.5 mm，大劃(hua)痕(hen)速度為(wei)500μm/ s。

•可用的遠程視頻選件在iNano腔內提供兩個不(bu)同的視角，除標(biao)準顯(xian)微鏡(jing)物(wu)鏡(jing)外(wai)還配(pei)有(you)USB攝(she)像頭。

使用可(ke)選的NanoBlitz拓撲和斷層掃描軟件(jian)對(dui)材料進行(xing)3D和4D映射。

iNano系統由具有電(dian)容(rong)傳感器的(de)(de)電(dian)磁傳感器提供動力(li)，可(ke)對各(ge)種材料進(jin)行精(jing)確(que)測(ce)量。該系統旨在提供高(gao)吞(tun)吐量和(he)輕(qing)松(song)的(de)(de)數據分析。iNano帶有多種標準測(ce)試協議，用戶可(ke)以(yi)輕(qing)松(song)對其(qi)進(jin)行編程以(yi)進(jin)行新(xin)穎的(de)(de)測(ce)量。iNano設計產生的(de)(de)校準多年穩定，因此(ci)來自多個站點(dian)的(de)(de)多個儀(yi)器的(de)(de)測(ce)量數據保持(chi)一致。該系統占(zhan)地(di)面積(ji)小，可(ke)節省實(shi)驗室(shi)空間，并符合(he)ISO 14577以(yi)確(que)保數據完整性。

除(chu)了能夠在大學，實驗室和研究(jiu)所進(jin)行(xing)(xing)先進(jin)的(de)研究(jiu)外(wai)，還可以(yi)對以(yi)下(xia)材料(liao)和行(xing)(xing)業進(jin)行(xing)(xing)納米(mi)壓痕測(ce)量：

? 制造質量控制

? 半導體(ti)晶圓和封裝

? 聚合物和塑料

? MEMS /納米(mi)級設備

? 陶瓷和玻璃

? 金屬和合金

? 醫藥品

? 涂料和油漆

? 電池和能量存儲

聚合物動態彈性性能的測試(shi)

描(miao)述(shu)像聚合物這樣(yang)的(de)(de)(de)粘彈性材料是(shi)阻尼(ni)和振動控制(zhi)應用(yong)的(de)(de)(de)關(guan)鍵。 納米力學公(gong)司的(de)(de)(de)核心技術可以將聚合物的(de)(de)(de)動態(tai)量表征(zheng)為應用(yong)頻率的(de)(de)(de)函數。此外，該測試可以在生產的(de)(de)(de)零件上完成，并且不需要傳統DMA測試設備的(de)(de)(de)大體積和特定幾何狀。

Dynamic Mechanical Analysis（DMA）of Polymers by Oscillatory Indention

脆性(xing)材料的壓痕斷裂(lie)韌(ren)性(xing)

脆性(xing)材(cai)料(liao)中抗裂(lie)(lie)紋擴(kuo)展性(xing)的(de)機(ji)械(xie)性(xing)能稱為“斷裂(lie)(lie)韌(ren)性(xing)”。 傳統(tong)上(shang)，由于(yu)(yu)樣(yang)品制備測(ce)量該性(xing)質可能是耗時(shi)且昂貴(gui)的(de)。使用(yong)立方角壓(ya)頭幾何(he)形狀的(de)壓(ya)痕測(ce)試，通過提供快(kuai)速結果和大數據(ju)集來增強統(tong)計數據(ju)，從而(er)有(you)助于(yu)(yu)測(ce)量裂(lie)(lie)縫。 此外，壓(ya)痕可以(yi)提供關于(yu)(yu)裂(lie)(lie)紋初始載荷(he)的(de)信息(xi)，可用(yong)于(yu)(yu)比較(jiao)不同的(de)材(cai)料(liao)加工(gong)條件。 該技術也可以(yi)應用(yong)于(yu)(yu)硬涂層，因其沒(mei)有(you)標準的(de)斷裂(lie)(lie)韌(ren)性(xing)幾何(he)形狀。

高溫測試壓頭的Jian端材料
Nanomechanics在鉬(mu)支(zhi)架上(shang)提(ti)供單晶碳化鎢Jian端(duan)，用(yong)于高溫測試(shi)應用(yong)。 這些Jian端(duan)的額定(ding)溫度超過1000°C，可(ke)提(ti)供各種Jian端(duan)幾何(he)形狀(zhuang)。這些Jian端(duan)還(huan)具有高導電性，因此(ci)適用(yong)于原位(wei)和(he)環境實(shi)驗。

聚合物的應變率靈敏度
聚合(he)物(wu)的(de)彈性(xing)形(xing)(xing)變通常表現(xian)出(chu)時間依賴性(xing)。此外，聚合(he)物(wu)通常具有(you)隨(sui)時間變化的(de)塑性(xing)變形(xing)(xing)，即蠕變。 納米力(li)學公司(si)的(de)儀(yi)器*通過應用應變率和測(ce)量(liang)施加(jia)的(de)壓力(li)來表征(zheng)聚合(he)物(wu)和其他材料的(de)蠕變。 這些測(ce)試的(de)信(xin)息(xi)對塑料加(jia)工中(zhong)的(de)成形(xing)(xing)性(xing)和擠出(chu)過程非常有(you)用。

連續剛度測(ce)量(CSM)

? 在(zai)壓(ya)痕周期內(nei)測量(liang)(liang)剛度和(he)其他材料(liao)性(xing)能CSM選項包括在(zai)壓(ya)入過程中(zhong)使探頭振蕩，測量(liang)(liang)結果表征為深(shen)度，力，時間或頻率(lv)的(de)函數。該選件隨(sui)附一個恒(heng)定應變(bian)率(lv)實(shi)(shi)驗(yan)，該實(shi)(shi)驗(yan)測量(liang)(liang)硬度和(he)模量(liang)(liang)隨(sui)深(shen)度或載荷(he)的(de)變(bian)化，這是(shi)整個學術界(jie)和(he)工業界(jie)常(chang)用(yong)的(de)測試方法。

NanoBlitz 3D快(kuai)速機械性能映射

? 快速(su)定(ding)量地繪制表面機械性(xing)能

? 由于增加(jia)了觀察(cha)數，因此提供了具(ju)有統計(ji)意(yi)義的結(jie)果

? 測量粗(cu)糙表面和(he)/或(huo)異質材料

NanoBlitz 3D選件根據x-y位置測量(liang)彈性模量(liang)和硬度，在短時間內生成(cheng)數千(qian)個(ge)數據點。定量(liang)數據與強大(da)的可視化技術相結合，以評估微觀結構和機(ji)械性能(neng)梯(ti)度的差異。

國際標準化的納米壓痕測試 iNano高精度臺式納米壓痕儀符合(he)國際認可(ke)的納米壓痕機械測試ISO 14577標準。

ISO 14577標(biao)準(zhun)化硬度(du)和彈性(xing)模量測試

來自Nanomechanics的iNano和iMicro納米壓(ya)痕(hen)儀符合(he)ISO 14577標準化硬度測(ce)試。  作(zuo)為參考，一些測(ce)量(liang)(liang)的壓(ya)痕(hen)彈性模量(liang)(liang)對照圖(tu)中右側彈性模量(liang)(liang)的傳統測(ce)量(liang)(liang)值繪(hui)制，適用于從聚合(he)物到(dao)金屬到(dao)剛性陶瓷的各種(zhong)材料。

生(sheng)物相容性材料的復合(he)剪切模量(liang)

本(ben)應用(yong)(yong)說明演示了iNano納米(mi)壓(ya)痕(hen)儀(yi)如何用(yong)(yong)于測(ce)試生物材料(liao)，并(bing)解釋了此類測(ce)試所(suo)需的特硬件，程序(xu)和分(fen)析。 可(ke)食(shi)用(yong)(yong)明膠用(yong)(yong)于該演示，因(yin)為它(ta)具有與組(zu)織相當的性質，可(ke)容(rong)易獲取并(bing)且(qie)制備方法是可(ke)控和可(ke)重復的。

循環壓痕測試

除了作為深度函(han)數的屬(shu)性(xing)的動態測(ce)量(liang)(liang)之(zhi)外，Nanomechanics還提供執行循環(huan)壓痕測(ce)試的能力。 我們(men)的優勢是速度，精(jing)度和準確(que)性(xing)。 圖中(zhong)所示的每(mei)個加(jia)載 - 卸載循環(huan)在4秒(miao)內完成(cheng)，從而(er)有效(xiao)地測(ce)量(liang)(liang)彈性(xing)模(mo)量(liang)(liang)和硬度。

微球的納(na)米力學(xue)測試：顆粒壓碎(sui)應用

微(wei)(wei)球(qiu)(qiu)在(zai)(zai)現代生(sheng)活中(zhong)有(you)(you)著無數的(de)(de)(de)用(yong)途。 中(zhong)空微(wei)(wei)球(qiu)(qiu)用(yong)于(yu)降低制(zhi)造(zao)材料的(de)(de)(de)密度。 在(zai)(zai)現代液相色(se)譜中(zhong)，分(fen)析物被迫(po)通過填充有(you)(you)玻璃(li)微(wei)(wei)球(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)柱(zhu)，從而(er)使分(fen)析物的(de)(de)(de)組分(fen)基于(yu)它們可(ke)以(yi)通過柱(zhu)的(de)(de)(de)速(su)度而(er)分(fen)離。 在(zai)(zai)電子封裝中(zhong)，金屬化(hua)(hua)聚(ju)合物微(wei)(wei)球(qiu)(qiu)被包裝在(zai)(zai)一起(qi)以(yi)形成靈活，可(ke)靠的(de)(de)(de)連接。 在(zai)(zai)這(zhe)項工作中(zhong)測(ce)試(shi)的(de)(de)(de)玻璃(li)微(wei)(wei)球(qiu)(qiu)被摻入油漆中(zhong)以(yi)增強(qiang)外觀(guan)和(he)耐(nai)擦傷性。 在(zai)(zai)所有(you)(you)這(zhe)些應用(yong)中(zhong)，了解微(wei)(wei)球(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)機(ji)械(xie)性質是設計的(de)(de)(de)關鍵方面(mian)。 通過硬件和(he)測(ce)程序(xu)的(de)(de)(de)相對較小的(de)(de)(de)變(bian)化(hua)(hua)，InForce 50成為一般的(de)(de)(de)小型壓縮測(ce)試(shi)系統。

薄膜：基板立彈(dan)性(xing)模量測(ce)量

了解薄膜(mo)的(de)(de)機械性能對于(yu)設計可(ke)靠(kao)的(de)(de)部件非常(chang)重(zhong)要。 無論您(nin)是在(zai)硬質基材上使(shi)用軟膜(mo)，還是在(zai)柔性基材上使(shi)用硬膜(mo)，Nanomechanics都(dou)擁有使(shi)用壓(ya)痕(hen)測試，表征(zheng)基材立彈性模量的(de)(de)測試方法。 此(ci)外(wai)，我們通過提(ti)供低于(yu)20nm厚度的(de)(de)數據(ju)在(zai)某些(xie)情況下(xia)小于(yu)10nm，推動薄膜(mo)測試的(de)(de)極限(xian)。

薄膜：基板立彈性模量測量

了解(jie)薄(bo)膜(mo)的機械性能對(dui)于(yu)設計可(ke)靠的部件非常重(zhong)要(yao)。 無論您是在硬(ying)質基材上使用(yong)軟膜(mo)，還(huan)是在柔性基材上使用(yong)硬(ying)膜(mo)，Nanomechanics都擁有(you)使用(yong)壓痕測(ce)試(shi)，表征基材立彈(dan)性模量的測(ce)試(shi)方法(fa)。 此外，我們通過(guo)提供(gong)低于(yu)20nm厚度的數據在某些情況下小于(yu)10nm，推動薄(bo)膜(mo)測(ce)試(shi)的極限。

AccuFilm™薄膜方案

? 通過校(xiao)正基材(cai)對測量(liang)的影(ying)響(xiang)，可以表征超薄膜(mo)(mo)AccuFilm薄膜(mo)(mo)方法選(xuan)件是一(yi)種測試方法包(bao)，帶(dai)有(you)專用壓頭，用于使(shi)(shi)用CS模(mo)塊測量(liang)與基材(cai)無關的材(cai)料特性。AccuFilm使(shi)(shi)用Hay-Crawford模(mo)型校(xiao)正基材(cai)的影(ying)響(xiang)，以測量(liang)軟基材(cai)上(shang)的硬膜(mo)(mo)或(huo)硬基材(cai)上(shang)的軟膜(mo)(mo)。

劃痕和磨損測試方法

? 當壓頭在樣品表面上移(yi)動(dong)時，向壓頭施加恒(heng)定或傾斜(xie)的載荷(he)涂(tu)層和薄(bo)膜(mo)要經歷許多(duo)挑戰薄(bo)膜(mo)強(qiang)度及(ji)其與基材(cai)粘合(he)性的過程(cheng)，例如化學機械拋光（CMP）和引線(xian)鍵合(he)。劃痕測試允許表征多(duo)種材(cai)料，例如薄(bo)膜(mo)，脆性陶瓷和聚合(he)物(wu)。

ProbeDMA™局部動態力學分(fen)析

? 對(dui)具有不(bu)適(shi)合(he)標準(zhun)DMA測(ce)試的(de)樣(yang)品幾何形狀和(he)/或材(cai)料體(ti)積(ji)的(de)軟聚合(he)物(wu)和(he)其(qi)他材(cai)料進行動態(tai)機械分析(xi)（DMA）ProbeDMA選(xuan)件通過測(ce)量(liang)存儲模(mo)量(liang)，損(sun)耗(hao)模(mo)量(liang)和(he)損(sun)耗(hao)因子隨(sui)頻(pin)率的(de)變化，將(jiang)納米(mi)壓頭轉變為局部動態(tai)力學分析(xi)儀器(qi)。ProbeDMA利(li)用CSM模(mo)塊和(he)iNano執(zhi)行器(qi)的(de)精度來提供(gong)與(yu)傳統DMA測(ce)試相匹(pi)配(pei)的(de)定量(liang)結果。它與(yu)300°C的(de)樣(yang)品加熱選(xuan)項*兼(jian)容，如下(xia)所述：

300°C 樣品加熱(re)300°C樣品加熱(re)選件允許(xu)將樣品放置(zhi)在室內進行均(jun)勻加熱(re)，同時進行測(ce)試(shi)。

更好的理解水平

iNano提(ti)供(gong)(gong)的(de)總的(de)客戶體驗(yan)不只是規格列表。 對(dui)于易于使用的(de)軟件(jian)和可靠(kao)的(de)硬件(jian)，以提(ti)供(gong)(gong)行業(ye)頂尖的(de)客戶服務(wu)和正常運行時間，iNano提(ti)供(gong)(gong)了強大(da)，直(zhi)接，無憂的(de)解決方案。