方阻測試儀

簡要描(miao)述：Filmetrics R50 是KLA電(dian)(dian)阻測(ce)(ce)試家族的(de)(de)最新(xin)產(chan)品(pin)。R50方阻測(ce)(ce)試儀是KLA超45年電(dian)(dian)阻測(ce)(ce)量(liang)技術地位之作。電(dian)(dian)阻測(ce)(ce)量(liang)和(he)(he)監控(kong)對于(yu)任(ren)何使用導電(dian)(dian)薄(bo)(bo)膜(mo)的(de)(de)行(xing)業(ye)都至關重要，從(cong)半導體(ti)制造到可穿戴技術所需的(de)(de)柔性(xing)電(dian)(dian)子(zi)(zi)產(chan)品(pin)。R50在金屬膜(mo)均勻性(xing)分(fen)布、離(li)子(zi)(zi)摻雜和(he)(he)注入表(biao)征、薄(bo)(bo)膜(mo)厚(hou)度和(he)(he)電(dian)(dian)阻率分(fen)布、以及(ji)非接(jie)觸膜(mo)厚(hou)等量(liang)測(ce)(ce)均進行(xing)了優化(hua)加強(qiang)。

產品(pin)型號：R-50
廠商性質：代理商
更新時間：2023-06-09
訪問量(liang)：1293

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詳情介紹

品牌	其他品牌	價格區間	面議
檢測參數	多參數	儀器種類	臺式
應用領域	電子,航天,汽車,電氣,綜合

KLA薄膜電阻測量技術方阻測試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方(fang)塊電阻(zu)測量(liang)儀器可(ke)測量(liang)沉積在各種基材上的導電片(pian)和(he)薄膜(mo)，跨越10個數量級范圍電阻率，包括：

半導(dao)體晶圓基板(ban)

玻璃基板

塑料(liao)（柔性）基(ji)材(cai)

PCB圖案特征(zheng)

太陽能電池

平板顯(xian)示層(ceng)和圖案化特征(zheng)

金屬箔

二、方阻測試儀主要功能

l 技術規格

測量(liang)范圍(wei)：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測(ce)量(liang)精度： +/- 1%；

重復度：小于(yu) 0.2%；

樣品(pin)圖中(zhong)無*的(de)測量點位(wei)，自(zi)定義(yi)測量Recipe，可線性、矩(ju)形、

極坐標以及自定義等。

Model	Description
R50-4PP	四探(tan)針測試自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量可(ke)放置(zhi)直徑200mm晶圓樣品(pin)
R50-EC	非接觸渦流測試自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現直(zhi)接100mm晶(jing)圓(yuan)方塊電阻mapping非(fei)接觸測(ce)量可放置直徑(jing)200mm晶圓樣(yang)品
R50-200-4PP	四(si)探針測試(shi) 自動(dong)XY移動臺-200mm*200mm 可實現直接200mm晶圓方塊(kuai)電(dian)阻mapping測量
R50-200-EC	非(fei)接觸渦流測試自動(dong)XY移動臺-200mm*200mm 可實現直接200mm晶(jing)圓方塊電阻mapping非接(jie)觸測量