掃描器

3x3x1um （ ± 10%）; 10x10x2um（ ± 10%）; 50x50x3 um （ ± 10%）

zui小掃描步長

0.0004 nm; 0.0011 nm; 0.006 nm

掃描類型

樣品掃描式

SPM頭部

AFM

STM:

30pA - 50nA, 4 p時的ARMS 噪音(yin) （標準的前置放大器(qi)）,

10pA - 5nA, 1.5 p時的ARMS噪音 （低電流前(qian)置放大器）

剪切力

光學觀察系統

數值孔徑 0.1

放(fang)大(da)倍數58x to 578x

水平視野 5,1~ 0,51mm

控制系統

SPM 控制箱

振動隔離系統

集成有被動隔離系統

如果需要也可用主動隔離系統(tong)

操作模式

1.合理的操作模式(shi)：

a. 擴(kuo)展電阻成像：這(zhe)個模(mo)式(shi)在(zai)表征半導體的(de)(de)(de)應用中非常有用，因為在(zai)該模(mo)式(shi)下，我們可以利(li)用W2C 或TiO涂層的(de)(de)(de)硅懸(xuan)臂來測(ce)得樣品上某一點的(de)(de)(de)導電率，然后(hou)和該點的(de)(de)(de)表明形(xing)貌進(jin)行比較。

b.  粘附(fu)力模式：在掃描過程(cheng)中(zhong)，可以同時得到(dao)力－距(ju)離曲線和(he)力的值(zhi)。

c.  剪(jian)切(qie)力模式：可(ke)以用來實現SNOW系統。

d. SKM對半導體(ti)表面成分分析十分有用。

e. RM和(he)電(dian)壓刻蝕：利用這(zhe)兩個模式(shi)可(ke)以(yi)在(zai)納米尺度實現機(ji)械和(he)電(dian)壓表(biao)面(mian)修飾。

2.集成測量頭

在一次掃描(miao)過程中，可以同(tong)時得(de)到4種不(bu)同(tong)的(de)信息。

掃描器

NT-MDT提供一套用于校正的(de)(de)標準光柵（6片），用其(qi)進行掃描器的(de)(de)校正和針尖質量的(de)(de)控制(zhi)。。

樣品大小

大樣(yang)品也可以進行測量。

光學觀測系統

多樣的光學觀測(ce)系統(tong)配置可以*客戶的需求。

針尖與樣品的驅近

1. 驅近系統的機械設計可(ke)使(shi)得經(jing)過(guo)幾(ji)次驅近之(zhi)后仍(reng)然能(neng)獲得相同(tong)(tong)的檢測區域。掃描位(wei)移(yi)大約為500nm，這(zhe)個特點可(ke)以讓您在幾(ji)周(zhou)內(nei)仍(reng)然能(neng)夠研究相同(tong)(tong)的樣品區域。

2. 在完(wan)成驅近之后，可以對所(suo)要檢測的區域進行自動掃描，因此實(shi)驗人員只(zhi)需很短的時間便可以在SPM上(shang)獲(huo)得(de)檢測結(jie)果。

3. 允許手動(dong)驅近(jin)。

電子學

每(mei)個(ge)軸(zhou)（X,Y和Z）通過2個(ge)16位DAC來(lai)實(shi)現(xian)(xian)22位的(de)掃(sao)描精(jing)度，再(zai)加上極(ji)低的(de)系統噪音，所(suo)以Solver使用50mm的(de)掃(sao)描器(qi)也能實(shi)現(xian)(xian)原子級分辨率。

計算機

我們(men)的(de)顯微鏡可(ke)以在任(ren)何兼容(rong)計算(suan)機(ji)機(ji)上進(jin)行操作。如(ru)果您(nin)不(bu)想(xiang)購買額(e)外的(de)計算(suan)機(ji)，那么您(nin)還可(ke)以將這(zhe)臺用于SPM的(de)計算(suan)機(ji)用于其他(ta)用途。

軟件

多樣的圖(tu)像處理(li)方法；

圖像處(chu)理軟件可以(yi)在(zai)網站免費下載；

可(ke)以處(chu)理DI,PSI, Topometrix和其他SPM廠(chang)家的數據文件樣本；

可(ke)以根據用戶需要來定制軟件。

隔震系統

在通常的(de)實(shi)驗室(shi)中，不需要增加額外的(de)隔震系統（在通常的(de)實(shi)驗室(shi)環境下就可以得到原子級圖(tu)像）。

其他優點

鈦合(he)金(jin)結構和*的SPM測量(liang)系統(tong)設計提供了zui低的熱漂移，讓您可(ke)以打開(kai)系統(tong)之(zhi)后馬(ma)上就可(ke)以開(kai)始測量(liang)了。

在這方面(mian)，NT-MDT盡全力滿足客戶的期望(wang)。