德國SURFACE超高真空脈沖激光鍍膜系統

        德國SURFACE公司自1993年起就從事脈沖激光沉積鍍膜系統（PLD）的研發和制造工作，在這期間SURFACE公司不但向市場提供了標準的PLD系統，而且也提供專門為客戶訂制的PLD系統。經過了這么多年的發展，SURFACE公司開發出許多能夠滿足客戶需求的產品和技術。

1、SURFACE基底運載系統

對機械來說，熱均勻和熱隔離的有效性是十分重要的。這其中，精確的熱電偶是關鍵的質量因素。SURFACE常規電阻1英寸基底運載器、嵌入式Omicron原子力基底夾、熱電偶直接嵌入基底運載系統，30mm的基底中間區域、基底和銀醬一起安裝在激光切邊運載器上。運載系統可轉換并直接嵌入熱電偶這保證大多數的溫度測量。

2、靶切換系統

超高真空技術需要反應釜通過一個負載鎖的腔體進行相互作用。從一開始，SURFACE就意識到這一點，并設計了一個靶轉盤來實現這一需求。多(duo)層蓋板(ban)避(bi)免了強(qiang)熱的基底轉移到靶(ba)(ba)材(cai)(cai)。所(suo)有靶(ba)(ba)材(cai)(cai)是(shi)受保(bao)護，以防止交(jiao)叉(cha)污染。蓋板(ban)能夠(gou)非常(chang)容易(yi)地(di)被更換(huan)，無需工具。靶(ba)(ba)材(cai)(cai)將通過(guo)磁場操(cao)縱(zong)或位于*轉移腔(qiang)的內部轉移操(cao)縱(zong)手被轉移。該(gai)耦合和靶(ba)(ba)材(cai)(cai)的精(jing)確檢索是(shi)自(zi)動(dong)完(wan)成的。靶(ba)(ba)轉盤和切換(huan)動(dong)力保(bao)證(zheng)了均(jun)質(zhi)燒蝕過(guo)程。

3、模塊化的系統概念

SURFACE公司多年來一直從事于研發超高真空材料科學系統。在大多數情況下，一個系統的工作負載起始于一個單一的過程控制，往往過了一段時間以后，客戶的需求會增多。為了通過附加的過程控制提升整套設備的功能，SURFACE公司認識到需要用完整的模塊化概念來解決這個問題。從向市場提供單一的腔體加上負載鎖，一直到提供更多的擴展，而不需要冒任何將來轉換而產生的風險。