4英寸納米壓印機
簡要描(miao)述:4英寸納米(mi)壓(ya)(ya)印(yin)機(ji)的(de)(de)技術與(yu)工(gong)藝特點,*性地設計(ji)和制(zhi)備工(gong)作于(yu)低真空環境下,結(jie)合正負壓(ya)(ya)可控(kong)(kong)調(diao)(diao)節并利用壓(ya)(ya)縮空氣作為壓(ya)(ya)印(yin)驅動(dong)力(li)(li)的(de)(de),通過壓(ya)(ya)力(li)(li)傳(chuan)導裝(zhuang)置(zhi)、緩沖與(yu)勻壓(ya)(ya)、壓(ya)(ya)力(li)(li)調(diao)(diao)節控(kong)(kong)制(zhi)裝(zhuang)置(zhi)等手段實(shi)現平穩可靠可控(kong)(kong)的(de)(de)壓(ya)(ya)印(yin)過程,借助于(yu)多種靈活(huo)的(de)(de)自(zi)動(dong)調(diao)(diao)節裝(zhuang)置(zhi)的(de)(de)巧(qiao)妙(miao)設計(ji)與(yu)運用,實(shi)現壓(ya)(ya)印(yin)中的(de)(de)自(zi)動(dong)找(zhao)平調(diao)(diao)控(kong)(kong),以保證模板納米(mi)圖案均勻精確的(de)(de)大面(mian)積復(fu)制(zhi)轉移。
- 產(chan)品型號:
- 廠商性(xing)質:代理商
- 更新時間:2022-04-21
- 訪(fang) 問 量:1432
4英寸納米壓印機主要特點:
該納米壓印機利用紫外曝光或者熱壓固化實現壓印圖案在壓印高分子膠層中的復制,并通過各項功能與過程參量的優化與篩選,通過遠程PLC控制系統結合觸摸屏單元,實現納米壓印全過程的實時監控與全自動化控制。
4英寸納米壓印機技術參數:
溫度范圍從室溫到250攝氏度;
壓力范圍從0到300個PSI(對于4英寸晶元);
紫外曝光系統;
真空范圍從1個標準大氣壓到0.1帕;
水冷系統;
樣品尺寸直徑zui大4英寸;
PLC遠程控制,帶觸摸屏;
手動裝載樣品和模板;
自帶機器控制軟件;
在軟件控制下可實現自動增加和釋放壓力;
可定制更大(da)樣(yang)品尺寸或更大(da)壓力系統的納(na)米(mi)壓印(yin)機。
- 上一篇:電鏡原位偏壓加熱系統
- 下一篇:激光直寫光刻機